第二台,来自青北小学。
那个女生搭建的光刻机主体结构较为完整,只是光学系统调校出现了偏差,无法实现纳米级曝光。
“完成度约30%。”
第三台,来自……
评委们一路点评下去,评分大多集中在15%到35%之间。
偶尔有一两台表现稍好的。
也不过40%出头。
直到……
他们来到云天小学的作品前。
陈院士停下脚步,认真端详了片刻。
云天小学那台光刻机,外壳组装严丝合缝,内部蚀刻模块安装到位,旋涂均匀度也达到了肉眼可辨的标准。
虽然细节上仍有瑕疵。
但在所有作品中已经算得上鹤立鸡群。
“完成度,48%。“
陈院士思索了片刻给出了目前为止的最高分。
顿了顿。
他又补充道:“云天小学如果能在曝光时序上再精确一些,完成度有望突破50%。”
下方。
云天小学的区域,顿时爆发出欢呼之声。
不出意外的话。
今年知识竞赛的第一名,将由他们云天小学拿下。
然而……
评委们依次走过剩余几所学校,最终停留在了江城小学的作品面前。
陈院士强忍着激动的心情。
目光落在眼前这台半人多高的微型光刻机上。
外壳每一处接缝都平整光滑,蚀刻模块、光学系统、机械传动结构浑然一体。
即便是以他联邦科学院退休院士的挑剔眼光来看,这台机器的做工也几乎挑不出毛病。
“启动检测。”
他沉声道。
工作人员立刻上前接通电源。
下一瞬。
光刻机嗡鸣启动,蓝光稳定输出,晶圆定位系统精准锁定,纳米级曝光流程一气呵成。
全息屏幕上。
检测数据实时刷新——精度28纳米,偏差率低于0.5%,各模块协同运转无异常。
“完成度100%。”
陈院士缓缓吐出这几个字,声音带着一丝不易察觉的颤抖:“这台光刻机,竟然真的可以正常运作!”
与此同时。
场馆里,所有人都看到了全系屏幕上江城小学的检测结果。
“什么?!100
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